Gas preheater

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

C23C 16/04 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01)

Patent

CA 2484915

A gas preheater for a CVI furnace designed for the densification of annular porous substrates (32)arranged in a plurality of vertical annular stacks of substrates, comprising: a sleeve (52) made of heat conductive material resting upon the bottom wall (14) of a susceptor (12,14) and delimiting a gas preheating chamber, with a gas inlet (56) opening in the gas preheating chamber; a heat exchange assembly (50) located in the gas preheating chamber; a gas distribution plate (60) resting upon the sleeve, covering the gas preheating chamber and provided with a plurality of passages (60a,60b) for preheated gas; a load supporting plate for supporting stacks of annular substrates and provided with a plurality of passages in communication with respective passages of the gas distribution plate and registration with internal volumes of respective stacks of annular substrates; and nozzles (62) inserted in passages communicating the gas preheating zone with the internal volumes of respective stacks of annular substrates for adjusting the flows of preheated gas respectively admitted in said internal volumes.

L'invention concerne un préchauffeur de gaz conçu pour un four à infiltration en phase vapeur (CVI) servant à densifier des substrats poreux annulaires (32) disposés en une pluralité de piles annulaires verticales de substrats. Ce préchauffeur de gaz comprend : un manchon (52) qui est constitué d'un matériau thermoconducteur, repose sur la paroi inférieure (14) d'un suscepteur (12, 14) et délimite une chambre de préchauffage de gaz (54) qui est pourvue d'une ouverture d'admission de gaz (56) ; un ensemble d'échange thermique (50) situé dans ladite chambre de préchauffage de gaz ; un plateau de distribution de gaz (60) qui est disposé sur le manchon, recouvre la chambre de préchauffage de gaz et est pourvu d'une pluralité de passages (60a, 60b) destinés au gaz préchauffé ; un plateau de support de charge (40) qui sert à supporter des piles de substrats annulaires et comporte une pluralité de passages qui communiquent avec les passages respectifs du plateau de distribution de gaz et sont alignés avec les volumes internes des piles respectives de substrats annulaires ; ainsi que des buses (62) qui sont insérées dans les passages reliant la zone de préchauffage de gaz et les volumes internes des piles respectives de substrats annulaires pour réguler les flux de gaz préchauffés respectivement admis dans lesdits volumes internes.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1851360

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