F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – B
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
B
F04B 37/02 (2006.01) F04D 19/04 (2006.01)
Patent
CA 2263559
A getter pump, especially suitable for the use upstream, in proximity and coaxially with respect to a turbomolecular pump, comprising inside a cylindrical cartridge (10) a getter device (20) formed of a continuous coil- shaped metal wire having turns (18, 18a) or formed of several zigzag-shaped segments mutually in series between two end points (22), such as to lie in an annular-shaped peripheral zone, concentric with respect to said cartridge (10) and coated with a sintered porous layer of non-evaporable getter material in form of powder. Said cartridge (10) is inserted into a steel stub (30) which is fastened on one side to the chamber to be evacuated and on the other side to a turbomolecular pump. The getter device (20) may be directly supplied with electric current from the outside through said ends (22).
Cette invention concerne une pompe de dégazage qui peut notamment être utilisée en amont, à proximité ou de manière coaxiale par rapport à une pompe turbomoléculaire. Cette pompe de dégazage comprend un dispositif de dégazage (20) qui est disposé dans une cartouche cylindrique (10), lequel dispositif se compose d'un câble métallique hélicoïdal et continu qui comporte des enroulements (18, 18a) ou, encore, de plusieurs segments en forme de zigzag qui sont disposés en série les uns par rapport aux autres entre deux points d'extrémité (22). Ce dispositif, qui va ainsi se trouver dans une zone périphérique annulaire, est disposé de manière concentrique par rapport à la cartouche (10); il est en outre revêtu d'une couche poreuse et frittée qui se compose d'un matériau de dégazage non évaporable et se présentant sous forme de poudre. La cartouche (10) est insérée dans une embase en acier (30) qui est fixée, d'un côté, à la chambre devant être vidée et, de l'autre côté, à une pompe turbomoléculaire. Ce dispositif de dégazage (20) peut être alimenté directement en courant électrique depuis l'extérieur par l'intermédiaire des extrémités susmentionnées (22).
Conte Andrea
Giannantonio Roberto
Gowling Lafleur Henderson Llp
Saes Getters S.p.a.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1440859