Getter pump module and system

Details Getter pump module and system Getter pump module and system

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons

04

B

F04B 37/02 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/70 (2006.01)

Patent

CA 2206264

A getter pump module includes a number of getter disks provided with axial holes, and a heating element which extends through the holes to support and heat the getter disks. The getter disks are preferably solid, porous, sintered getter disks that are provided with a titanium hub that engages the heating element. A thermally isolating shield is provided to shield the getter disks from heat sources and heat sinks within the chamber, and to aid in the rapid regeneration of the getter disks. In certain embodiments of the present invention, the heat shields are fixed, and in other embodiments the heat shield is movable. In one embodiment, a focus shield is provided to reflect thermal energy to the getter material from an external heater element and provide high pumping speeds. An embodiment of the present invention also provides for a rotating getter element to enhance getter material utilization.

Pompe getter comportant plusieurs disques de dégazage percés d'orifices axiaux et un élément chauffant qui passe par les orifices pour supporter et chauffer les disques. Les disques sont de préférence pleins, poreux, frittés et équipés d'un moyeu de titane dans lequel passe l'élément chauffant. Un écran thermique protège les disques des sources de chaleur et des puits thermiques provenant de la chambre et favorise la régénération rapide des disques. Dans certaines variantes de la présente invention, les écrans thermiques sont fixes, alors que dans d'autres variantes, ils sont mobiles. Dans une de ces variantes, un écran de focalisation reflète l'énergie thermique émanant d'un élément chauffant extérieur vers le matériel de dégazage, ce qui autorise une vitesse de pompage élevée. Dans une autre variante, un élément de dégazage rotatif améliore l'utilisation du matériel de dégazage.

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