Guard bands for tuning fork gyroscopes

Details Guard bands for tuning fork gyroscopes Guard bands for tuning fork gyroscopes

G - Physics

01

P

G01P 9/04 (2006.01) G01C 19/56 (2006.01)

Patent

CA 2272556

Guard bands (20a, 20b, 20c, 20d) in a tuning fork gyroscope reduce or eliminate force and sensitivity associated with proof mass (13) motion normal to the substrate (22) as a result of voltage transients. The guard bands reduce the undesired effects of transient voltages on electrostatic coupling of interleaved comb electrodes (12a, 18a; 14a, 18b; 14b, 18c; 12d, 18d). The guard bands are biased to reduce the coupling ratio to zero and thereby enable starting and improved performance. Various configurations of guard bands may be employed including distinct inner (20b, 20c) and outer (20a, 20d) guard bands, distinct inner guard bands only, extended sense electrodes below inner sensing combs with no outer guards, distinct outer guard bands with extended sense electrodes, and sense electrodes extended beneath both drive and sensing combs.

L'invention concerne des bandes de garde (20a, 20b, 20c, 20d) qui réduisent ou éliminent la force et la sensibilité associées au déplacement des masses étalon (13) perpendiculaires au substrat (22) provoqué par des tensions transitoires. Les bandes de garde réduisent les effets indésirables de tensions transitoires sur le couplage électrostatique d'électrodes en peigne intercalées (12a, 18a; 14a, 18b; 14b, 18c; 12d, 18d). Les bandes de garde sont polarisées de façon à ramener le rapport de couplage à zéro et favorisent le lancement en assurant un meilleur rendement. On peut employer différentes configurations de bandes de garde intérieures (20b, 20c) et extérieures (20a, 20d), des bandes de garde intérieures seules, des électrodes de détection allongées sous les peignes de détection intérieurs sans gardes extérieures, des bandes de garde extérieures munies d'électrodes de détection allongées, et des électrodes de détection allongées sous les peignes d'entraînement et de détection.

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