G - Physics – 01 – P
Patent
G - Physics
01
P
G01P 15/10 (2006.01) G01P 15/097 (2006.01)
Patent
CA 2673442
The invention pertains to the field of micro-machined electromechanical systems including a proof mass capable of displacement. The invention relates to a guiding blade for a mobile proof mass in a monolithic electromechanical system which is micro-machined in a plate having a thickness H and defining a plane O,x,y, wherein the electromechanical system includes a base and at least one measurement cell including the proof mass connected to the base by the guiding blade and capable of translation displacement along the axis Oy, said blade extending along an axis Ox and being connected to a fixed portion of the base, and said blade limiting the movement of the proof mass (1) along the axis Ox, characterised in that said blade is monolithic and in that it sequentially comprises: a first hinge section in the shape of a parallelepiped having a thickness h long the axis Oz, a length I1 along the axis Ox and a width L along the axis Oy; a central section essentially in the shape of a parallelepiped having a thickness h long the axis Oz, a length lt along the axis Ox and a width Lt along the axis Oy; and a second hinge section essentially in the shape of a parallelepiped having a thickness h long the axis Oz, a length I2 along the axis Ox and a width L along the axis Oy.
Le domaine de l'invention est celui des systèmes électromécaniques micro-usinés comportant une masse d'épreuve susceptible de se déplacer. L'invention concerne plus particulièrement, une lame de guidage d'une masse d'épreuve mobile d'un système électromécanique monolithique micro-usiné dans une plaque d'épaisseur h formant un plan O,x,y, le système électromécanique comportant une base et au moins une cellule de mesure comprenant la masse d'épreuve reliée à la base par la lame de guidage et susceptible de se déplacer en translation suivant un axe Oy, ladite lame étant disposée suivant un axe Ox et reliée à une partie fixée à la base, ladite lame limitant un mouvement de la masse d'épreuve (1) suivant l'axe Ox, caractérisé en ce que ladite lame est monolithique et en ce qu'elle est composée par une succession : d'un premier tronçon charnière, de forme parallélépipédique qui possède une épaisseur suivant l'axe Oz égale à h, une longueur suivant l'axe Ox égale à I1 et une largeur suivant l'axe Oy égale à L; d'un tronçon central de forme sensiblement parallélépipédique qui possède une épaisseur suivant l'axe Oz égale à h, une longueur suivant l'axe Ox égale à lt, et une largeur suivant l'axe Oy égale à Lt; d'un deuxième tronçon charnière de forme sensiblement parallélépipédique qui possède une épaisseur suivant l'axe Oz égale à h, une longueur suivant l'axe Ox égale à I2, et une largeur suivant l'axe Oy égale à L.
Marks & Clerk
Thales
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1472056