B - Operations – Transporting – 41 – J
Patent
B - Operations, Transporting
41
J
B41J 2/05 (2006.01) B41J 2/14 (2006.01)
Patent
CA 2512165
An inkjet printhead heater chip has a silicon substrate with a heater stack formed of a plurality of thin film layers thereon for ejecting an ink drop during use. The thin film layers include: a thermal barrier layer on the silicon substrate; a resistor layer on the thermal barrier layer; a doped diamond-like carbon layer on the resistor layer; and a cavitation layer on the doped diamond-like carbon layer. The doped diamond-like carbon layer preferably includes silicon but may also include nitrogen, titanium, tantalum, combinations thereof or other. When it includes silicon, a preferred silicon concentration ranges from 20 to 25 atomic percent. A preferred cavitation layer includes an undoped diamond-like carbon, tantalum or titanium layer. The doped diamond-like carbon layer ranges in thickness from 500 to 3000 angstroms. The cavitation layer ranges from 500 to 6000 angstroms. Inkjet printheads and printers are also disclosed.
L'invention concerne une puce chauffante de tête d'impression à jet d'encre comprenant un substrat de silicium avec un empilement chauffant composé d'une pluralité de couches minces, permettant de projeter une goutte d'encre lors de son utilisation. Les couches minces comprennent : une barrière thermique située sur le substrat de silicium ; une couche de résistance située sur la barrière thermique ; une couche de carbone sous forme de diamant amorphe dopée située sur la couche de résistance ; et une couche de cavitation située sur la couche de carbone sous forme de diamant amorphe dopée. La couche de carbone sous forme de diamant amorphe dopée contient de préférence du silicium, mais peut également contenir de l'azote, du titane, du tantale, ou des mélanges de ces derniers ou d'autres matières. Lorsque cette couche contient du silicium, la concentration préférée de silicium est comprise entre 20 et 25 pour-cent atomique. Une couche de cavitation préférée comprend une couche de carbone sous forme de diamant amorphe, de tantale ou de titane non dopée. La couche de carbone sous forme de diamant amorphe dopée a une épaisseur comprise entre 500 et 3000 .ANG.. La couche de cavitation a une épaisseur comprise entre 500 et 6000 .ANG.. L'invention concerne également des têtes d'impression et des imprimantes à jet d'encre.
Anderson Frank E.
Bell Byron V.
Cornell Robert
Guan Yimin
Parish George Keith
Lexmark International Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1945706