Hermetic chamber with electrical feedthroughs

Details Hermetic chamber with electrical feedthroughs Hermetic chamber with electrical feedthroughs

G - Physics

01

L

G01L 9/12 (2006.01)

Patent

CA 2652060

A pressure cavity is durable, stable, and biocompatible and configured in such a way that it constitutes pico to nanoliter-scale volume. The pressure cavity is hermetically sealed from the exterior environment while maintaining the ability to communicate with other devices. Micromachined, hermetically-sealed sensors are configured to receive power and return information through direct electrical contact with external electronics. The pressure cavity and sensor components disposed therein are hermetically sealed from the ambient in order to reduce drift and instability within the sensor. The sensor is designed for harsh and biological environments, e.g. intracorporeal implantation and in vivo use. Additionally, novel manufacturing methods are employed to construct the sensors.

L'invention concerne une cavité sous pression qui est durable, stable, biocompatible, et qui est configurée de telle manière qu'elle constitue un volume à l'échelle du picolitre ou du nanolitre. La cavité sous pression est fermée hermétiquement par rapport à l'environnement extérieur tout en conservant la possibilité de communiquer avec d'autres dispositifs. Des capteurs micro-usinés tenus de façon étanche sont configurés pour recevoir du courant et des informations de retour par un contact électrique direct à travers des dispositifs électroniques externes. La cavité sous pression et les composants de capteur disposés dans celle-ci sont tenus de façon étanche par rapport à l'environnement ambiant pour réduire les déviations et l'instabilité dans le capteur. Le capteur est conçu pour des environnements difficiles et biologiques, par exemple une implantation intracorporelle et une utilisation in vivo. De plus, de nouveaux procédés de fabrication sont utilisés pour construire les capteurs.

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