Hermetic chamber with electrical feedthroughs

Details Hermetic chamber with electrical feedthroughs Hermetic chamber with electrical feedthroughs

G - Physics

12

B

G12B 9/02 (2006.01) B81C 3/00 (2006.01) G01L 9/06 (2006.01) A61B 5/00 (2006.01)

Patent

CA 2597078

A pressure cavity is durable, stable, and biocompatible and configured in such a way that it constitutes pico to nanoliter-scale volume. The pressure cavity is hermetically sealed from the exterior environment while maintaining the ability to communicate with other devices. Micromachined, hermetically-sealed sensors are configured to receive power and return information through direct electrical contact with external electronics. The pressure cavity and sensor components disposed therein are hermetically sealed from the ambient in order to reduce drift and instability within the sensor. The sensor is designed for harsh and biological environments, e.g. intracorporeal implantation and in vivo use. Additionally, novel manufacturing methods are employed to construct the sensors.

L'invention concerne une cavité sous pression durable, stable et biocompatible, conçue pour constituer un volume de l'échelle du picolitre ou du nanolitre. Cette cavité sous pression est hermétiquement étanche par rapport à l'environnement extérieur, tout en maintenant une capacité de communication avec d'autres dispositifs. Ces capteurs microusinés, hermétiquement étanches sont conçus pour recevoir de la puissance et des informations de retour par un contact électrique direct avec des dispositifs électroniques extérieurs. La cavité sous pression et les composants de capteur montés à l'intérieur de cette cavité sont hermétiquement étanches par rapport à l'atmosphère ambiante, de sorte à réduire les déviations et l'instabilité à l'intérieur du capteur. Le capteur est conçu pour des environnements difficiles et biologiques, par exemple l'implantation intracorporelle et les utilisations in vivo. En outre, de nouvelles méthodes de fabrication sont utilisées pour construire ces capteurs.

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