High purity nitrogen distribution system

F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 17 – D

Patent

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Details

F17D 1/04 (2006.01) F17C 13/12 (2006.01) F17D 5/02 (2006.01)

Patent

CA 2082779

Les portions de tubulures de longueur L ayant une section linéaire S1 et véhiculant un débit volumique d'azote Q tel que, pour obtenir une concentration molaire en impuretés de dégazage inférieure à C max, on ait Q/S1 non inférieur à 9, 5 x 10 -9 L/C max, sont réalisées en acier inoxydable à faible teneur en carbone non électro-polies et/ou chimiquement traitées, les jonctions entre tubulures et/ou avec des organes actifs étant maintenues extérieurement dans une atmosphère neutre de protection confinée dans un boîtier étanche.

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