H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 31/0256 (2006.01)
Patent
CA 2365499
According to this invention, silicon-based photodetectors using waveguides formed with silicide regions can have high speed and high efficiency for near IR applications. Utilizing the unique properties of silicides, the proposed method provides a simple and elegant way to implement a photodetector design in which photogenerated carriers travel perpendicular to the direction of light propagation. Therefore, the speed and quantum efficiency of the photodetector may be optimized independently. This device configuration may be implemented in one of the two approaches: (a) waveguides formed through surface silicidation of a silicon-based layer of a substrate (b) waveguides formed through silicidation of ridge waveguide side-walls of a silicon-based layer of a substrate; The use of mature silicon technology promises low cost of production and other benefits.
Photodétecteurs à base de silicium fonctionnant au moyen de guides d'ondes formés à partir de zones de siliciure et pouvant atteindre une grande vitesse et une grande efficacité dans le cadre d'applications de rayonnement dans le proche infrarouge. La méthode proposée comprend l'utilisation des propriétés uniques des siliciures et fournit une manière simple et élégante de réaliser un photodétecteur au sein duquel les porteurs de charge photogénérés se déplacent perpendiculairement au sens de propagation de la lumière. Ainsi, la vitesse et le rendement quantique du photodétecteur peuvent être optimisés de façon indépendante. La configuration du dispositif peut être obtenue au moyen de l'une des deux approches suivantes : a) des guides d'ondes sont formés par la siliciuration de la surface d'une couche à base de silicium d'un substrat, b) des guides d'ondes sont formés par siliciuration des parois latérales de guides à moulures d'une couche à base de silicium d'un substrat; le recours à une technologie du silicium bien maîtrisée assure un faible coût de production et d'autres avantages.
Janz Siegfried
Xu Dan-Xia
Marks & Clerk
National Research Council Of Canada
LandOfFree
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