C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C30B 23/06 (2006.01)
Patent
CA 2693615
An evaporator cell (100) which is equipped for evaporating, in particular, a high-melting evaporation material, comprises a crucible (10) for receiving the evaporation material, which crucible comprises a crucible base (11), a side wall (12) which extends in an axial direction of the crucible (10) and a crucible opening (13), and a heating device (20) having a heating resistor (21) which comprises a multiplicity of heating zones (21.1, 21.2) which are arranged on an outside of the crucible (10) and extend along the axial direction of the crucible (10), wherein the heating zones (21.1, 21.2) are equipped for multi-side resistance heating and/or electron beam heating of the crucible (10), and wherein the heating zones (21.1, 21.2) are constructed in such a manner that a heating current through the heating resistor (21) which is formed, for example by a resistance sleeve, flows in parallel and in the same sense through all heating zones (21.1, 21.2). A process for operation of the evaporator cell is also described.
L'invention concerne une cellule d'évaporation (100) pour l'évaporation notamment d'un produit à évaporer à haut point de fusion. La cellule d'évaporation comprend un creuset (10) pour recevoir le produit à évaporer, qui présente un fond (11) de creuset, une paroi latérale (12), qui s'étend dans une direction axiale du creuset (10), et une ouverture de creuset (13) ainsi qu'un dispositif de chauffage (20) avec une résistance de chauffage (21) qui comprend plusieurs zones chauffantes (21.1, 21.2) qui sont disposées sur un côté extérieur du creuset (10) et qui s'étendent le long de la direction axiale du creuset (10). Les zones chauffantes (21.1, 21.2) permettent d'effectuer un chauffage par résistance et/ou un chauffage par faisceau électronique du creuset (10) de tous les côtés, et les zones chauffantes (21.1, 21.2) sont formées de telle sorte qu'un courant de chauffage passant par la résistance de chauffage (21), qui est formée par exemple par une gaine résistante, s'écoule en parallèle et dans le même sens à travers toutes les zones chauffantes (21.1, 21.2). L'invention concerne aussi un procédé pour faire fonctionner la cellule d'évaporation.
Braun Wolfgang
Fischer Albrecht
Watahiki Tatsuro
Createc Fischer & Co. Gmbh
Deeth Williams Wall Llp
Forschungsverbund Berlin E.v.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2018130