G - Physics – 03 – H
Patent
G - Physics
03
H
G03H 1/08 (2006.01) G02B 1/10 (2006.01) G03H 1/00 (2006.01)
Patent
CA 2739017
Method for detecting a three dimensional object smaller than 300nm comprising the steps of : - providing a light source producing a first light beam (1), said light source being at least partially coherent; - splitting said first light beam (1) into an object beam (2) and a reference beam (6) by means of a first beam splitter (BS1); - producing a image of the light source in a light source image plane by means of a first microscope objective (L1), in the optical path of the object beam (2); - positioning the three dimensional object to be detected in an object cell (3) in the optical path of the object beam (2), between said first beam splitter (BS1) and said first microscope objective (L1); - recombining object beam (2) and said reference beam (6) into a recombined beam (8) by use of optical means; - placing an optical stop (4) in said light source image plane of said microscope objective (L1) on the optical axis of said microscope objective (L1); - focusing said recombined beam (8) onto said recording means (5) with focusing means (L3); recording interf erometric signals produced by the interaction between the reference beam and the object beam with recording means (5), - reconstructing a three dimensional picture of the three dimensional object to be detected from said interf erometric signal, thereby detecting said three dimensional object.
L'invention concerne un procédé pour détecter un objet tridimensionnel faisant moins de 300 nm comprenant les étapes consistant : - à prendre une source lumineuse produisant un premier faisceau lumineux (1), ladite source lumineuse étant au moins partiellement cohérente; - à séparer ledit premier faisceau lumineux (1) en un faisceau d'objet (2) et un faisceau de référence (6) au moyen d'un premier séparateur de faisceau (BS1); - à produire une image de la source lumineuse dans un plan d'image de source lumineuse au moyen d'un premier objectif de microscope (L1), dans le chemin optique du faisceau d'objet (2); - à positionner l'objet tridimensionnel devant être détecté dans une cellule d'objet (3) dans le chemin optique du faisceau d'objet (2), entre ledit premier séparateur de faisceau (BS1) et ledit premier objectif de microscope (L1); - à recombiner le faisceau d'objet (2) et ledit faisceau de référence (6) en un faisceau recombiné (8) à l'aide de moyens optiques; - à placer un diaphragme optique (4) dans ledit plan d'image de source lumineuse dudit objectif de microscope (L1) sur l'axe optique dudit objectif de microscope (L1); - à focaliser ledit faisceau recombiné (8) sur lesdits moyens d'enregistrement (5) par des moyens de focalisation (L3); - à enregistrer les signaux interférométriques produits grâce à l'interaction entre le faisceau de référence et le faisceau d'objet avec les moyens d'enregistrement (5), - à reconstituer une image tridimensionnelle de l'objet tridimensionnel devant être détecté à partir dudit signal interférométrique, afin de détecter ledit objet tridimensionnel.
Goudreau Gage Dubuc
Universite Libre de Bruxelles
LandOfFree
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