G - Physics – 03 – H
Patent
G - Physics
03
H
G03H 1/04 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) G03H 1/00 (2006.01)
Patent
CA 2336481
A holographic lithography tool (110) for generating a light interference pattern used to expose a photosensitive medium (119) employs a refracting prism (121) in the optical path between divergent illuminating beams (127a, 127b). The prism is optically coupled to the photosensitve medium via an index matching fluid (123). By increasing the incident beam angle and the index of refraction, the prism reduces the size of features recorded in the photosensitive material. The divergent illuminating beams are generated by a beam delivery system which preferably employs easily adjustable fiber optic cables (176, 184). Use of the prism coupling technique facilitates use of fiber-optic-compatible wavelengths in the blue region of the spectrum in a variety of applications, such as distributed feedback grating fabrication.
L'invention concerne un outil pour lithographie holographique (110) destiné à générer un modèle d'interférence lumineuse utilisé pour exposer un milieu photosensible (119), employant un prisme de réfraction (121) sur le parcours optique entre des faisceaux d'illumination divergents (127a, 127b). Le prisme est couplé optiquement au milieu photosensible via un fluide à adaptation d'indice (123). En augmentant l'angle du faisceau incident et l'indice de réfraction, le prisme réduit la dimension des entités géométriques enregistrées dans le matériau photosensible. Les faisceaux d'illumination divergents sont générés par un système fournissant des faisceaux, utilisant de préférence des câbles à fibres optiques facilement ajustables (176, 184). L'utilisation d'une technique de couplage par prisme facilite l'utilisation de longueurs d'onde compatibles avec des fibres optiques dans la région bleue du spectre pour une variété d'applications, telles que la fabrication d'un réseau de retour réparti.
Hobbs Douglas C.
Kelsey Adam F.
Macleod Bruce D.
Macrae & Co.
Optical Switch Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1860848