H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/00 (2006.01) G01N 23/225 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) G21K 7/00 (2006.01)
Patent
CA 2507056
A method and appararatus are described for imaging wet samples with an Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM). In particular, a carrier gas is humidified such that the water vapor in the carrier gas in the sample chamber of the ESEM has a partial pressure equal to the saturated vapor pressure of water. Thus, the sample can be imaged without observing any evaporation or condensation thereon. Both the carrier gas and the water vapor may act as the imaging gas within the ESEM. The apparatus is an imaging gas delivery system for the ESEM wherein the carrier gas may be appropriately humidified.
L'invention concerne un procédé et un dispositif servant à former des images d'échantillons humides au moyen d'un microscope électronique à balayage environnemental (ESEM). En particulier, un gaz porteur est humidifié de sorte que la vapeur d'eau contenue dans le gaz porteur présent dans la chambre à échantillon de l'ESEM présente une pression partielle égale à la pression de vapeur saturée de l'eau. Il est ainsi possible d'obtenir une image de l'échantillon sans observation d'évaporation ou de condensation sur ce dernier. Le gaz porteur et la vapeur d'eau peuvent faire office de gaz d'imagerie dans l'ESEM. Le dispositif selon l'invention est un système d'apport de gaz d'imagerie pour l'ESEM, dans lequel le gaz porteur peut être humidifié de manière appropriée.
Erickson Lynn C.
Orfino Francesco P.
Zimmermann Joerg
Ballard Power Systems Inc.
Borden Ladner Gervais Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1763367