Hybrid surface modification process and article

G - Physics – 03 – F

Patent

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Details

G03F 7/40 (2006.01) B23H 3/00 (2006.01) B23H 9/00 (2006.01)

Patent

CA 2338346

The combination or hybridization of chemical machining (especially photochemical machining, chemical resist machining or thermal resist machining) with electrical discharge machining provides an increased efficiency machining process with unique etch characteristics and improved economics. The ability of chemical machining to accurately and rapidly machine a substrate to significant depths is combined with the increased flatness of wall or slope facings of the slower, but more precise, electrical discharge machining to provide three-dimensional patterning of surfaces with facial characterictics that are unique, rapidly obtained, and of high quality. The process is performed by either (a) first chemical machining to obtain the fundamental pattern and approximate depth of texturing desired in the final product and refining the grooves, walls and troughs of the patterned surface by subsequent electrical discharge machining or (b) using electrical chemical machining to define a pattern of troughs, grooves and walls, and then extending the depth of those grooves with chemical machining (in combination with a resist over the surface of the plateaus of the initial pattern). The initial product from alternative (b) may be followed by a further electrical discharge machining to refine the groove characteristics.

La combinaison ou hybridation de l'usinage chimique (notamment usinage photochimique, usinage chimique ou thermique utilisant une réserve) avec l'usinage par électroérosion permet d'obtenir une méthode d'usinage plus efficace présentant des caractéristiques d'attaque chimique unique et d'amélioration des coûts. La propriété de l'usinage chimique permettant d'usiner avec précision et rapidité un substrat à des profondeurs importantes est alliée à une meilleure planéité des surfaces de paroi ou pente de l'usinage à électroérosion plus lent, mais plus précis, et permet d'obtenir des configurations de surfaces tridimensionnelles dont les caractéristiques faciales sont uniques, obtenues rapidement et de haute qualité. Pour effectuer ce procédé, on a recours à : a) un premier usinage chimique pour obtenir la configuration de base et approcher la profondeur de texturation désirée dans le produit final et améliorer les gorges, les parois et les creux de la surface configurée par un autre usinage à électroérosion, ou b) l'usinage électrochimique pour obtenir une configuration de creux, gorges et parois, et ensuite augmenter la profondeur de ces gorges par usinage chimique (en combinaison avec une réserve sur la surface du plateau de la configuration initiale). Le produit initial obtenu à partir de l'alternative b) peut subir un autre usinage à électroérosion pour améliorer les caractéristiques des gorges.

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