G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 21/77 (2006.01) G01N 21/78 (2006.01)
Patent
CA 2670304
A thin film layer is formed on the surface of a planar light transmission path in a hydrogen sensor, and a catalyst layer is formed on the surface of the thin film layer. A first boundary surface is formed between the planar light transmission path and the thin film layer, and a second boundary surface is formed between the planar light transmission path and a substrate when the substrate is bonded to the backside of the planar light transmission path. Light from a light source is allowed to enter from the incident portion while being diffused to the first end side of the planar light transmission path, and then the light is reflected alternately off the first and second boundary surfaces and transmitted to the second end side of the planar light transmission path. That light exiting the second end side is transmitted to a photosensor by an exiting/condensing portion. When the thin film layer is hydrogenated by the catalyst layer touching hydrogen, the quantity of light reflecting off the first boundary surface decreases. Decrease in quantity of light is detected by the photosensor to thereby detect hydrogen.
La présente invention concerne une couche de film fin formée à la surface d'un chemin de transmission de lumière planaire dans un capteur d'hydrogène, et une couche de catalyseur formée à la surface de la couche de film fin. Une première surface limitrophe est formée entre le chemin de transmission de lumière planaire et la couche de film fin et une seconde surface limitrophe est formée entre le chemin de transmission de lumière planaire et un substrat lorsque le substrat est lié à l'arrière du chemin de transmission de lumière planaire. Il est permis à une lumière provenant d'une source lumineuse d'entrer depuis la portion incidente tout en étant diffusée vers la première extrémité du chemin de transmission de lumière planaire, puis la lumière est réfléchie alternativement hors de la première et de la seconde surfaces limitrophes et transmise à la seconde extrémité du chemin de transmission de lumière planaire. Cette lumière qui sort de la seconde extrémité est transmise à un photocapteur par une portion de sortie/condensation. Lorsque la couche de film fin est hydrogénée par la couche de catalyseur qui touche l'hydrogène, la quantité de lumière réfléchie en provenance de la première surface limitrophe diminue. Une diminution de la quantité de lumière est détectée par le photocapteur afin de détecter ainsi l'hydrogène.
Kato Kenji
Matsuda Naoki
Uchiyama Naoki
Yoshimura Kazuki
Kabushiki Kaisha Atsumitec
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
Robic
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2001482