Hydrogen separation membrane, sputtering target for forming...

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B - Operations, Transporting

01

D

B01D 71/02 (2006.01) B01D 53/22 (2006.01) C01G 53/00 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01)

Patent

CA 2585187

Provided is a hydrogen separation membrane characterized by comprising a structure obtained by sintering atomized powder having a composition of Ni x M y Zr100-x-y (wherein M is Nb and/or Ta, 25 ~ x ~ 40, 25 ~ y ~ 40) and an average grain size of 50µm or less. The prepared hydrogen separation membrane does not require the use of costly Pd metal, and can be used as a substitute for conventional high-cost bulk metallic glass obtained by quenching of molten metal. This hydrogen separation membrane is free from problems such as defects in the hydrogen separation membrane and unevenness of composition, has a uniform structure, and is capable of separating hydrogen at low cost. Further provided are a sputtering target for forming such as hydrogen separation membrane and its manufacturing method.

L'invention concerne une membrane de séparation d'hydrogène caractérisée en ce qu'elle a une structure obtenue par frittage d'une poudre atomisée ayant un diamètre moyen des particules <= 50 µm dont la composition est représentée par la formule NixMyZr100-x-y (dans laquelle M = Nb et/ou Ta, 25 <= x <= 40 et 25 <= y <= 40). La membrane de séparation d'hydrogène obtenue ne nécessite pas d'utiliser du Pd métal onéreux et, en tant que produit remplaçant le verre de métal en masse de coût élevé classique produit par trempe de métal fondu, ne présente pas de problèmes de défauts de la membrane de séparation d'hydrogène et d'hétérogénéité de la composition. La membrane de séparation d'hydrogène a une structure homogène et est capable de séparer de façon efficace l'hydrogène à faible coût. En outre, l'invention concerne une cible de pulvérisation cathodique servant à former la membrane de séparation d'hydrogène et un procédé servant à produire celle-ci.

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