H - Electricity – 03 – H
Patent
H - Electricity
03
H
H03H 9/25 (2006.01)
Patent
CA 2558834
The disclosed invention relates to achieving micromachined piezoelectrically- actuated diaphragms. The piezoelectric diaphragm includes a central, inactive3 electrode free region (1) and an annular shaped interdigitated electrode adjacent to the outer periphery (2) of the central region (1). The diaphragm also may have an inactive annular, electrode free region (2) and an active central, interdigitated electrode region (1). The diaphragms may be used in, such as, miniature pumps. The pumps may include a plurality of chambers to generate peristaltic pumping of fluids.
L'invention a pour objet la réalisation de membranes actionnées de manière piézo-électrique et micro-usinées. La membrane piézo-électrique comprend une région libre d'électrode inactive et centrale et une électrode internumérisée annulaire adjacente au pourtour externe de la région centrale. La membrane peut également présenter une région libre d'électrode annulaire et inactive et une région d'électrode internumérisée centrale et active. Les membranes peuvent être utilisées dans des pompes miniatures entre autres. Les pompes peuvent comporter une pluralité de chambres permettant de générer le pompage péristaltique de fluides.
Freidhoff Carl B.
Hong Eunki
Krishnaswamy Silia V.
Trolier Mckinstry Susan
Kyle C. Larry
Northrop Grumman Corp.
The Penn State Research Foundation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1679857