B - Operations – Transporting – 29 – C
Patent
B - Operations, Transporting
29
C
B29C 59/02 (2006.01) B29C 43/02 (2006.01) B29C 43/10 (2006.01) B29C 43/36 (2006.01) G11B 7/26 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01)
Patent
CA 2380114
An imprint process comprises the step of aligning a substrate, supported on a first support member, with a template, supported on a second support member. The substrate has at least one essentially plane surface provided with a moldable film. The template has at least one essentially plane surface provided with a relief pattern. The relief pattern is adapted to interact with the moldable film. The process further comprises the step of arranging a sealing gasket between the template and the second support member, such that a pressure cavity is defined by the second support member, the template and the sealing gasket. The process also comprises the step of applying a static gas pressure to the pressure cavity, in order to provide a pressure between the template and the substrate. The pressure is sufficient to form a pattern in the moldable film. An imprint device is also disclosed.
Une méthode d'empreinte comprend l'étape consistant à aligner un substrat, soutenu sur un premier élément de support, à l'aide d'un gabarit, soutenu sur un second élément de support. Le substrat présente au moins une surface sensiblement plane pourvue d'un film moulable. Le gabarit présente au moins une surface sensiblement plane pourvue d'un motif en relief. Le motif en relief est conçu pour interagir avec le film moulable. La méthode comprend en outre l'étape consistant à disposer un joint d'étanchéité entre le gabarit et le second élément de support, de telle sorte qu'une cavité sous pression soit définie par le second élément de support, le gabarit et le joint d'étanchéité. La méthode comprend également l'étape consistant à appliquer une pression de gaz statique à la cavité sous pression, afin de fournir une pression entre le gabarit et le substrat. La pression est suffisante pour former un motif dans le film moulable. On présente également un dispositif d'empreinte.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Obducat Aktiebolag
LandOfFree
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