G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 27/333 (2006.01)
Patent
CA 2628286
An electrochemical sensor is provided that exhibits improved adhesion of the membrane to the nitride layer used as an insulating layer in silicon- or silicon-oxide-based electrochemical sensing devices. The sensing devices include a substrate, an oxide disposed on the substrate, a nitride disposed on the oxide, an electrically conductive structure disposed on the oxide layer, and an electrode disposed on the oxide layer and electrically coupled to the electrically conductive structure. At least one opening is formed in the nitride layer to form at least one adhesion trench that exposes a surface region of an oxide layer underlying the nitride layer. The membrane covers the electrode, and contacts the oxide surface regions exposed by the adhesion trenches. The contact between the membrane and the oxide surface region provides for improved adhesion of the membrane to the electrochemical sensing device.
La présente invention concerne un capteur électrochimique qui présente une adhésion améliorée de la membrane à la couche de nitrure utilisée comme couche isolante dans des dispositifs de capture électrochimiques à base de silicium ou d~oxyde de silicium. Les dispositifs de capture comprennent un substrat, un oxyde disposé sur le substrat, un nitrure disposé sur l'oxyde, une structure conductrice d'électricité disposée sur la couche d'oxyde, et une électrode disposée sur la couche d'oxyde et couplée électriquement à la structure conductrice d~électricité. Au moins une ouverture est formée dans la couche de nitrure pour former au moins une souille d~adhésion qui expose une zone de la surface d~une couche d~oxyde sous-jacente à la couche de nitrure. La membrane recouvre l~électrode, et est en contact avec les zones de surface d~oxyde exposées par les souilles d~adhésion. Le contact entre la membrane et la zone de surface d~oxyde permet une adhésion améliorée de la membrane au dispositif de capture électrochimique.
Dipiazza Frank
Martin Glenn B.
Craig Wilson And Company
Ge Analytical Instruments Inc.
Sensicore Inc.
LandOfFree
Improved adhesion of membranes on nitride layer in... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Improved adhesion of membranes on nitride layer in..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Improved adhesion of membranes on nitride layer in... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1770024