G - Physics – 05 – D
Patent
G - Physics
05
D
G05D 7/00 (2006.01) G01F 1/36 (2006.01) G05D 7/06 (2006.01)
Patent
CA 2423342
Provided is an improved pressure-type flow rate control apparatus that can control the flow rate of a fluid with great precision using an empirical formula. The empirical formula can provide values that closely fit with the actual flow rates of a compressible fluid under non-critical conditions. The improved pressure-type flow rate control apparatus can control the flow rate of fluid passing through an orifice 4 to a target flow rate with accuracy and at a high speed. The empirical formula for the compressible fluid under non-critical conditions (sub-sonic) is expressed as Qc = KP2m(P1 - P2)n and the flow rate of fluid passing through orifice 4 is calculated by: Qc = KP2m(P1 - P2)n (K is a proportional constant; and m and n are constants) so that the flow rate of fluid passing through the orifice 4 can be controlled to the target flow rate with high precision at a high speed. Also provided is an improved pressure-type flow rate control apparatus in which a pressure ratio P2/P1 = r, obtained from an upstream pressure P1 and a downstream pressure P2 is constantly compared with a critical value rc, and under critical conditions (r <= r c), the flow rate is calculated by Qc = KP1. Under non-critical conditions (r > r c), the flow rate is calculated by Qc = KP2m(P1 - P2)n, so that the flow rate is controlled to the target flow rate with accuracy at a high speed depending upon the conditions of fluid.
La présente invention se rapporte à un dispositif perfectionné de régulation d'écoulement du type commandé par la pression permettant de réguler précisément un écoulement au moyen d'une expression expérimentale de l'écoulement établie de manière à représenter précisément l'écoulement réel d'un fluide compressible dans une zone non critique, l'expression expérimentale de l'écoulement du fluide compressible dans la zone non critique (champ des vitesses différentes de celle du son) est exprimée sous la forme Qc = KP<sb>2</sb><sp>m</sp> (P<sb>1 </sb>- P<sb>2</sb>)<sp>n</sp>, et le débit du fluide traversant un orifice (4) est calculé au moyen de l'expression Qc = KP<sb>2</sb><sp>m</sp> (P<sb>1 </sb>- P<sb>2</sb>)<sp>n</sp> (K est un coefficient de proportionnalité, n et m sont des constantes) de sorte que l'écoulement peut être régulé précisément et rapidement aux fins de l'obtention d'un écoulement spécifié, et un rapport des pressions P<sb>2</sb>/P<sb>1</sb> = r, qui fait intervenir une pression P<sb>1</sb> côté amont et une pression P<sb>2</sb> côté aval, est toujours comparé à une valeur critique<sb> </sb>r<sb>c</sb> et l'écoulement est calculé au moyen de l'expression Qc = KP<sb>1</sb> dans des conditions critiques de r<sb>c</sb> et d'une expression Qc = KP<sb>2</sb><sp>m</sp> (P<sb>1 </sb>- P<sb>2</sb>)<sp>n </sp>dans des conditions non critiques où r > r<sb>c</sb> de sorte que l'écoulement peut être régulé précisément et rapidement aux fins de l'obtention d'un écoulement spécifié correspondant à toutes les conditions du fluide.
Dohi Ryousuke
Ikeda Nobukazu
Inui Shujiro
Matsumoto Atsushi
Nakamura Osamu
Fujikin Incorporated
Ohmi Tadahiro
Riches Mckenzie & Herbert Llp
Tokyo Electron Ltd.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2043636