H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/304 (2006.01)
Patent
CA 2724228
An apparatus and method for collecting and analyzing the effluent stream created by a chemical mechanical pla-narization (CMP) process performs a continuous measurement of at least one effluent characteristic and integrates the results over time to create a volumetric analysis of the planarization process. The volumetric analysis can be used as feedback/feedforward sig-nals to control the planarization process itself (e.g., endpoint detection based upon an known initial thickness of film material), create alarm signals for out-of-range measurements, and/or waste stream indicators useful in treating the effluent prior to discharge (e.g., determining a pH correction).
L'invention concerne un appareil et un procédé de collecte et d'analyse d'un flux d'effluents créé par un processus de planarisation mécanique et chimique (CMP, chemical mechanical planarization), lequel appareil réalise une mesure continue d'au moins une caractéristique de l'effluent, et intègre les résultats dans le temps pour créer une analyse volumétrique du processus de planarisation. L'analyse volumétrique peut être utilisée pour fournir des signaux de rétroaction et d'action directe pour réguler le processus de planarisation lui-même (par exemple, détection du point final sur la base de l'obtention d'une épaisseur initiale connue du matériau du film), création de signaux d'alarme pour mesures hors plage et/ou indicateurs du flux de résidus, utiles dans le traitement des effluents avant évacuation (par exemple, détermination d'une correction du pH).
Benner Stephen J.
Peters Darryl W.
Borden Ladner Gervais Llp
Confluense Llc
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1369741