G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/20 (2006.01) B23K 26/06 (2006.01) G02B 5/32 (2006.01) G03H 1/04 (2006.01)
Patent
CA 2271815
An optically made, high-efficiency in-line holographic mask (ILHM) for patterning a workpiece and apparatus and methods for performing same. The ILHM (32) combines the functions of a lens and amplitude mask to obviate the need for projection optics The ILHM is formed using either a non-opaque (MI) or opaque (MII) object mask having transparent regions which can be phase altering, scattering, refracting and/or diffracting. One method of the invention is illuminating an ILHM to impart a pattern on a workpiece (40). Another method is patterning a workpiece using an ILHM in combination with a lens. Using the ILHM, a holographic real image is disposed at or near the lens image plane. Exposure apparatus (10) for workpieces using ILHMs are also disclosed.
Masque holographique en ligne à haute efficacité et de fabrication optique destiné à la mise en forme holographique en ligne d'un élément à usiner; appareil et procédés de mise en oeuvre associée. Le MHEL de cette invention combine la fonction d'imagerie d'une lentille et les propriétés de transmission d'un masque d'amplitude standard ceci rendant inutile l'utilisation d'une optique de projection coûteuse. Le MHEL de cette invention est formé à l'aide d'un masque d'objet spécialisé du type I (non opaque) ou du type II (opaque) comportant un ou plusieurs éléments sensiblement transparents qui peuvent modifier la phase, diffuser, réfracter et/ou diffracter. Un aspect de l'invention concerne un procédé de création d'un motif sur un élément à usiner, qui consiste à utiliser un faisceau d'illumination et à placer un MHEL dans ce dernier, à positionner un élément à usiner juste à côté du MHEL puis à illuminer le MHEL pour imprimer un motif sur l'élément à usiner. Un autre aspect de l'invention a pour objet un procédé de mise en forme d'un élément à usiner avec un MHEL qui est lui-même utilisé en combinaison avec une lentille. Le MHEL est placé de sorte qu'une image réelle holographique se forme sur le plan d'objet de la lentille ou à proximité de ce plan et l'élément à usiner est placé sur le plan d'image de la lentille ou à proximité de ce plan. Un appareil permettant de mettre en forme un élément à usiner à l'aide d'un MHEL est également décrit. Cette invention s'applique pour des longueurs d'ondes allant de l'infrarouge aux rayons X, elle est tout à fait adaptée à l'utilisation dans des appareils industriels d'exposition en ligne qui servent à mettre en forme une grande variété d'éléments à usiner destinés à de nombreuses applications différentes.
Parker Julie W.
Parker William P.
Diffraction Ltd.
Marsupial Holdings Inc.
Stikeman Elliott Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1851623