Induction plasma gun

H - Electricity – 05 – H

Patent

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Details

H05H 1/30 (2006.01) C03B 37/012 (2006.01) C03B 37/014 (2006.01) H05H 1/26 (2006.01)

Patent

CA 2154431

La présente invention concerne une torche à plasma par induction du type utilisé dans les procédés de dépôt par plasma de silice pure ou dopée lors de la fabrication de préformes pour fibre optique, comprenant: - un tube (2), dit tube de réaction, à l'intérieur duquel se trouve une zone de production du plasma (6), - des moyens d'injection dans le tube (2), vers la zone de production du plasma (6), des réactifs destinés à former la silice pure ou dopée à déposer, - des moyens de distribution (4) de gaz plasmagènes à l'intérieur du tube (2) vers la zone de production du plasma (6), - une bobine d'induction (7) entourant le tube (2), pour apporter l'énergie nécessaire à la formation du plasma (8), caractérisée en ce que le tube (2) est protégé contre les cycles thermiques dus aux variations de la température à l'intérieur du tube au moyen d'un revêtement protecteur (9) déposé sur la paroi interne (5) du tube de réaction (2) au niveau de la zone de production du plasma (6), de manière à entourer cette dernière, le revêtement (9) étant constitué d'un matériau à base de silice et ayant une épaisseur inférieure à 2 mm.

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