Inductively-coupled rf power source

Details Inductively-coupled rf power source Inductively-coupled rf power source

H - Electricity

03

L

H03L 7/06 (2006.01) H03L 5/02 (2006.01) H05H 1/46 (2006.01) G01N 21/73 (2006.01) H05H 1/30 (2006.01)

Patent

CA 2629567

A system and method are disclosed for implementing a power source including a power amplifier that generates a radio-frequency power signal with an adjustable operating frequency. The power amplifier also generates a reference phase signal that is derived from the radio-frequency power signal. An impedance match provides the radio-frequency power signal to a plasma coil that has a variable resonance condition. A phase probe is positioned adjacent to the plasma coil to generate a coil phase signal corresponding to the adjustable operating frequency. A phase-locked loop then generates an RF drive signal that is based upon a phase relationship between the reference phase signal and the coil phase signal. The phase-locked loop provides the RF drive signal to the power amplifier to control the adjustable operating frequency, so that the adjustable operating frequency then tracks the variable resonance condition.

L'invention concerne un système et un procédé permettant de réaliser une source de puissance. Ce système comprend un amplificateur de puissance qui génère un signal de puissance radiofréquence présentant une fréquence de fonctionnement réglable. Cet amplificateur de puissance génère également un signal de phase de référence qui est dérivé du signal de puissance radiofréquence. Une unité d'adaptation d'impédance transmet le signal de puissance radiofréquence à une bobine plasma présentant un état de résonance variable. Une sonde de phase est placée dans une position adjacente à la bobine plasma, et génère un signal de phase de bobine correspondant à la fréquence de fonctionnement réglable, et une boucle à phase asservie génère un signal d'attaque RF à partir de la relation de phase entre un signal de phase de référence et le signal de phase de la bobine. La boucle à phase asservie transmet le signal d'attaque RF à l'amplificateur de puissance qui commande la fréquence de fonctionnement, de telle manière que la fréquence de fonctionnement réglable suit alors l'état de résonance variable.

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