Inorganic permeation layer for micro-electric device

Details Inorganic permeation layer for micro-electric device Inorganic permeation layer for micro-electric device

C - Chemistry, Metallurgy

12

M

C12M 1/00 (2006.01) B01J 19/00 (2006.01)

Patent

CA 2379762

The present invention pertains to a method of, and a device created by, depositing an inorganic permeation layer on a micro-electronic device for molecular biological reactions. The permeation layer is preferably sol-gel. The sol-gel permeation layer can be created with pre-defined porosity, pore size distribution, pore morphology, and surface area. The sol-gel permeation layer may also function as the attachment layer of the micro-electric device.

La présente invention concerne un procédé, ainsi qu'un dispositif créé conformément audit procédé, qui consiste à déposer une couche de perméation inorganique sur un dispositif micro-électronique en vue de la réalisation de réactions biologiques moléculaires. Cette couche de perméation est, de préférence, un couche sol-gel. La couche de perméation sol-gel peut être créée avec une porosité, une répartition volumétrique des pores, une morphologie des pores et une superficie prédéfinies. La couche de perméation sol-gel peut également faire office de couche de fixation du dispositif micro-électrique.

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