Inspection device and method

Details Inspection device and method Inspection device and method

G - Physics

06

K

G06K 9/00 (2006.01) G01N 15/14 (2006.01) G02B 21/26 (2006.01) G02B 21/36 (2006.01) G06T 5/00 (2006.01) G06T 7/00 (2006.01)

Patent

CA 2195565

A device for the visual inspection of a specimen (21), comprising a first microscope (20) for obtaining a magnified view of different areas of a specimen (21), a display monitor (14) for displaying images of at least a subset of the different areas of the specimen (21), selection means (18) for enabling the selection of an image displayed on the monitor, a second microscope (20a) for review of an area of the specimen (21) corresponding to the selected image, a motorized stage for positioning said specimen (21) with respect to the field of view of the second microscope (20a), and a processor (16a) for determining the image selected and instructing the motorized stage to position the specimen (21) so that the area of the specimen (21) corresponding to the selected image is in the field of view of the second microscope (20a).

L'invention concerne un dispositif permettant d'effectuer le contrôle visuel d'un spécimen (21). Ce dispositif comprend un premier microscope (20) pour obtenir une vue agrandie de différentes zones d'un spécimen (21), un écran d'affichage (14) pour visualiser des images d'au moins un sous-ensemble des différentes zones du spécimen (21), des moyens de sélection (18) pour permettre la sélection d'une image affichée sur l'écran. Il comprend, en outre, un deuxième microscope (20a) pour contrôler une zone du spécimen (21) correspondant à l'image sélectionnée, un palier motorisé pour positionner ce spécimen (21) par rapport au champ de vision du deuxième microscope (20a), et un processeur (16a) pour déterminer l'image sélectionnée et demander au palier motorisé de positionner le spécimen (21) de sorte qu'il place la zone du spécimen (21) correspondant à l'image sélectionnée dans le champ de vision du deuxième microscope (20a).

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