H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 29/36 (2006.01) H01L 21/8238 (2006.01) H01L 23/522 (2006.01) H01L 27/092 (2006.01)
Patent
CA 2362920
The present invention relates to an integrated circuit for high-frequency applications, comprising a substrate (31) of high resistivity, active components (37, 41) and an inductor (45) above said substrate, whereby the active components and the inductor are arranged laterally mainly separated. According to the invention a layer (33) of low resistivity is comprised below the active components and laterally separated from the inductor. The invention also relates to a method for manufacturing said semiconductor device, which particularly comprises adding two new process steps, a masking step and a doping step, respectively, to a known process.
La présente invention concerne un circuit intégré destiné à des applications à haute fréquence qui comprend un substrat (31) à haute résistivité, des composants actifs (37, 41) et une bobine d'induction (45) située au-dessus dudit substrat; les constituants actifs et la bobine d'induction étant disposés latéralement mais essentiellement séparés. Selon l'invention, une couche (33) à faible résistivité est prévue sous les composants actifs et espacée latéralement de la bobine d'induction. Cette invention concerne également un procédé de fabrication dudit dispositif à semi-conducteur qui consiste spécifiquement à ajouter deux nouvelles étapes de traitement, respectivement une étape de masquage et une étape de dopage, à un procédé connu.
Bohlin Kjell
Magnusson Ulf
Tylstedt Ola
Marks & Clerk
Telefonaktiebolaget Lm Ericsson
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1484558