C - Chemistry – Metallurgy – 01 – B
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
01
B
C01B 3/50 (2006.01) B01D 71/02 (2006.01) B01J 19/00 (2006.01) H01M 8/06 (2006.01)
Patent
CA 2351325
The present invention relates to gas separation membranes including a metal- based layer (17) having sub-micron scale thicknesses. The metal-based layer (17) can be a palladium alloy supported by ceramic layers such as a silicon oxide layer and a silicon nitride layer. By using MEMS, a series of perforations (holes) (11) can be patterned to allow chemical components to access both sides of the metal-based layer. Heaters and temperature sensing devices can also be patterned on the membrane (16). The present invention also relates to a portable power generation system at a chemical microreactor comprising the gas separation membrane. The invention is also directed to a method for fabricating a gas separation membrane. Due to the ability to make chemical microreactors of very small sizes, a series of reactors can be used in combination on a silicon surface to produce an integrated gas membrane device.
L'invention concerne des membranes de séparation de gaz comprenant une couche (17) à base de métal dont l'épaisseur est de l'ordre de l'ultramicron. Cette couche (17) peut être un alliage de palladium sur un support de couches en céramique du type couche d'oxyde de silicium et couche de nitrure de silicium. La technologie des systèmes micromécaniques microélectriques (MEMS) permet de réaliser une série de perforations (trous) (11) pour que les composants chimiques puissent accéder aux deux côtés de la couche à base de métal. On peut aussi adapter des éléments chauffants et des capteurs sur la membrane (16). L'invention concerne également un système de production d'énergie portable utilisable à un microréacteur chimique renfermant la membrane de séparation de gaz. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'une membrane de séparation de gaz. Sachant qu'il est possible de fabriquer des microréacteurs de très petite taille, on peut utiliser une série de réacteurs en combinaison sur une surface de silicium, pour réaliser un dispositif à membrane de séparation de gaz intégrée.
Firebaugh Samara
Franz Aleksander J.
Jensen Klavs F.
Schmidt Martin A.
Massachusetts Institute Of Technology
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1614149