G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 27/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G02B 6/02 (2006.01) G02B 27/10 (2006.01)
Patent
CA 2394399
An interferometer comprising a beam source (PM, M1, L1) of first and second light beams. The interferometer has a first arm that routes the first light beam via a first pair of mirrors (M4, M5) arranged at right angles to each other in the manner of a corner cube to reverse the direction of the first light beam and a second arm that routes the second light beam via a second pair of mirrors (M2, M3). The beam source (PM, M1, L1) and the second mirror pair (M2, M3) are mounted on a linear translation stage (P1). The first and second light beams are incident on a focusing element (L2) symmetrically about and parallel to its optical axis and then converge at an angle (.phi.) to form an interference pattern. The symmetric, balanced configuration of the interferometer is retained under motion of the positioning element, which varies the separation (d) of the first and second light beams on the focusing element. Proximity problems, such as contamination, which result from the use of phase masks in contact mode are avoided. More generally, the interferometer provides a flexible source for large-area, non-focused interference patterns of tuneable period.
L'invention concerne un interféromètre comprenant une source (PM, M1, L1) lumineuse permettant la formation d'un premier et d'un second faisceau lumineux. Cet interféromètre comprend un premier bras qui guide le premier faisceau à l'aide d'une première paire de miroirs (M4, M5) disposés à angle droit l'un de l'autre à la manière d'un coin de cube, qui inversent la direction du premier faisceau lumineux, et un second bras qui guide le second faisceau lumineux à l'aide d'une seconde paire de miroirs (M2, M3). La source (PM, M1, L1) lumineuse émettant les faisceaux et la seconde paire de miroirs (M2, M3) sont montées sur une platine (P1) à translation linéaire. Le premier et le second faisceau lumineux sont incidents sur un élément (L2) de focalisation, et suivent une trajectoire symétrique sur le tour de l'axe optique, et parallèle à ce dernier, puis convergent avec un angle (.phi.) afin de former une figure d'interférence. La configuration symétrique et équilibrée de cet interféromètre est conservée pendant le mouvement de l'élément de positionnement, qui modifie la distance (d) séparant le premier et le second faisceau lumineux sur l'élément de focalisation. Ce système permet d'éviter les problèmes de proximité tels qu'une contamination résultant de l'utilisation de masques de phase en mode contact. De manière plus générale, cet interféromètre offre une source flexible de figures d'interférence de grande surface, non focalisées, à période modulable.
Durkin Michael Kevan
Zervas Mikhail Nickolaos
Kirby Eades Gale Baker
University Of Southampton
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1777658