Interferometer tunable in a non-mechanical manner by a...

G - Physics – 01 – B

Patent

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Details

G01B 9/02 (2006.01)

Patent

CA 2284602

The object of the invention is to create an improved interferometer which does not require a drive mechanism for moving a reference surface or test specimen in order to tune the interferometer and which can be tuned in virtually vibration-free manner, thereby preventing measuring errors. For this purpose, the interferometer (10) comprises at least one light source, a reference surface (40), a test specimen (50) and at least one beam splitter (30). For vibration-free tuning, the interferometer (10) further contains an apparatus (60, 70) for the polarization of the.interference beams such that, at the output of the interferometer (10), they have different polarization states with respect to each other; and an analyzer (80), disposed at the output of the interferometer (10), with a polarization state variable in predetermined manner, said analyzer (80) - depending on its polarization state - introducing a defined Pancharatnam phase into the interference beams for tuning the interferometer (10).

L'invention concerne vise à mettre au point un interféromètre perfectionné ne nécessitant pas de mécanisme d'entraînement pour déplacer une surface de référence ou un objet à mesurer, en vue de sa syntonisation et pouvant être syntonisé pratiquement sans entraîner de vibrations, ce qui permet d'éviter les mesures imprécises. A cet effet, l'interféromètre (10) comprend au moins une source lumineuse, une surface de référence (40), un objet à mesurer (50) et au moins un séparateur de faisceau (30). Pour une syntonisation n'entraînant pas de vibrations, l'interféromètre (10) contient en outre un dispositif (60, 70) permettant de polariser les rayons à interférer de manière qu'ils présentent à la sortie de l'interféromètre (10) un état de polarisation différencié les uns par rapport aux autres, ainsi qu'un analyseur (80) à état de polarisation modulable de manière prédéterminé, qui introduit en fonction de son état de polarisation une phase de Pancharatnam définie dans les rayons à interférer, afin de syntoniser l'interféromètre (10).

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