G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/00 (2006.01)
Patent
CA 2647634
Broad band white color can be achieved in MEMS display devices by incorporating a material having an extinction coefficient (k) below a threshold value for wavelength of light within an operative optical range of the interf erometric modulator. One embodiment provides a method of making the MEMS display device comprising depositing said material (23) over at least a portion of a transparent substrate (20), depositing a dielectric layer (24) over the layer of material, forming a sacrificial layer over the dielectric, depositing an electrically conductive layer (14) on the sacrificial layer, and forming a cavity (19) by removing at least a portion of the sacrificial layer. The suitable material may comprise germanium, germanium alloy of various compositions, doped germanium or doped germanium -containing alloys, and may be deposited over the transparent substrate, incorporated within the transparent substrate or the dielectric layer.
Une couleur blanche large bande peut être obtenue dans des dispositifs d'affichage MEMS par incorporation d'un matériau présentant un coefficient d'extinction (k) inférieur à une valeur seuil pour une longueur d'onde de lumière située dans une plage optique fonctionnelle du modulateur interférométrique. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage MEMS qui consiste à déposer ledit matériau sur au moins une partie d'un substrat transparent; à déposer une couche diélectrique sur la couche de matériau; à former une couche sacrificielle sur la couche diélectrique; à déposer une couche électroconductrice sur la couche sacrificielle; et à former une cavité par élimination d'au moins une partie de la couche sacrificielle. Le matériau approprié peut comprendre du germanium, un alliage de germanium de compositions diverses, du germanium dopé ou des alliages contenant du germanium dopé, et peut être déposé sur le substrat transparent, incorporé à l'intérieur du substrat transparent ou de la couche diélectrique.
Gousev Evgeni
Mienko Marek
Xu Gang
Qualcomm Mems Technologies Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
Interferometric optical display system with broadband... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Interferometric optical display system with broadband..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Interferometric optical display system with broadband... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1450619