G - Physics – 01 – L
Patent
G - Physics
01
L
G01L 5/00 (2006.01)
Patent
CA 2641606
This invention provides an internal stress actuated micro- or nano- machine for measuring mechanical and/or electrical properties, e.g. traction measurement, compression measurement or shear measurement, on micro- scale and nano-scale films or multi-layers of materials such as metallic materials, carbon-based materials and silicon-base materials. The device of the invention has applications in materials production industry, as well as in micro- electronics and for surface treatments and functionalization.
La présente invention concerne une micromachine ou une nanomachine actionnée par une tension interne pour mesurer des propriétés mécaniques et / ou électriques, par ex. la mesure de la traction, la mesure de la compression ou la mesure du cisaillement, sur des films ou des matériaux multicouches, tels que des matériaux métalliques, des matériaux à base de carbone et des matériaux à base de silicium, de taille micrométrique ou nanométrique. Le dispositif selon l'invention possède des applications dans l'industrie de la production de matériaux, ainsi que dans la micro-électronique et pour les traitements de surface et la fonctionnalisation.
Andre Nicolas
Coulombier Michael
Fabregue Damien
Pardoen Thomas
Raskin Jean-Pierre
Smart & Biggar
Universite Catholique de Louvain
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1818134