Jet for continuously depositing solid matter on a substrate

Details Jet for continuously depositing solid matter on a substrate Jet for continuously depositing solid matter on a substrate

B - Operations, Transporting

05

B

299/28

B05B 11/00 (2006.01) C03C 17/245 (2006.01) C23C 16/453 (2006.01)

Patent

CA 1150749

PRECIS Buse qui comporte trois chambres d'alimentation en gaz qui communique avec trois espaces prismatiques qui convergent vers une fente de distribution divisée en trois par des rubans longitudinaux tendus à leurs deux extrémités et appliqués contre des surfaces d'appui qui donnent leurs inclinaisons respectives centrées au sommet tronque d'un espace prismatique. Cet agencement permet de maintenir un écartement régulier des fentes de distribution des espaces quelle que soit la longueur de la buse. Cette buse est destinée en particulier au revêtement de substrats par le procédé C.V.D.

365132

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