Laminate structure and production method therefor

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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C23C 14/16 (2006.01) B32B 15/04 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) G11B 7/254 (2006.01) G11B 11/105 (2006.01) G11B 7/26 (2006.01)

Patent

CA 2357933

There is provided a laminated structure having a silicon carbide coating layer formed by sputtering on an alloy substrate, and the silicon carbide has a light transmittance of 70% or greater. It is preferable that the alloy substrate is a magnetic alloy or a phase--changing alloy, the impurity ratio on the surface of the silicon carbide coating layer is 1.0 × 10 12 atoms/cm2 or less and the thickness of the silicon carbide coating layer is 10 to 100 nm. Since the laminated structure has a silicon carbide coating layer which is excellent in oxidation resistance, chlorine resistance, humidity resistance, and which has high refractive index, high light transmittance and the like, it is suitable for an optical disk recording medium such as a CD-RW, a DVD-RAM or the like.

La présente invention concerne une structure de laminé pourvue d'une couche de revêtement de carbure de silicium formée par électropulvérisation sur un matériau de base en alliage et caractérisée en ce qu'un pouvoir de transmission de la couche de revêtement de carbure de silicium est d'au moins 70%. On préfère un mode dans lequel le matériau de base en alliage est un alliage magnétique ou un alliage à changement de phase, un mode dans lequel les impuretés de la surface de la couche de revêtement de carbure de silicium fait au maximum 1,0 x 10<12> atomes/cm<2>, ou un mode dans lequel la couche de revêtement présente une épaisseur de 1 nm à 100 nm. Cette couche de laminé est pourvue d'une couche de revêtement de carbure de silicium dont les excellentes qualités en matière de résistance à l'oxydation, de résistance au chlore, de résistance à l'humidité, d'indice de réfraction, et de pouvoir de transmission, l'indiquent tout particulièrement comme support d'enregistrement de disque optique tel que le CD-RW et le DVD-RAM.

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