B - Operations – Transporting – 32 – B
Patent
B - Operations, Transporting
32
B
B32B 15/01 (2006.01) B22F 7/02 (2006.01) B22F 7/06 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) H01F 41/18 (2006.01)
Patent
CA 2171539
The invention concerns a laminated structure (1) obtained by high isostatic pressing, comprising a first metallic outer layer (2) (produced by powder metallurgy) on one side, a second metallic outer layer (3) on the other side which can form a brittle intermetallic phase and/or a brittle ordered phase with the first side, and a ductile metallic intermediate layer (4), whereby the layers possess mutually different coefficients of thermal expansion and whereby the intermediate layer (4) acts as a diffusion barrier against the formation of the aforementioned brittle intermetallic phases or ordered phases. The invention also concerns a manufacturing method for the structure and an application of same as a cathode in a plasma sputtering unit.
L'invention porte sur une structure stratifiée (1) obtenue sous l'effet d'une forte pression isostatique et comportant, d'un côté, une première couche métallique extérieure (2) (produite par métallurgie des poudres), de l'autre côté, une seconde couche métallique extérieure (3) qui peut former avec la première couche un composé intermétallique ou ordonné fragile, et une couche métallique intermédiaire ductile (4). Les différentes couches de cette structure ont des coefficients de dilatation thermique différents tandis que la couche intermédiaire (4) fait office de barrière de diffusion contre la formation des composés intermétalliques ou ordonnés susmentionnés. L'invention porte également sur un procédé de fabrication de ladite structure et son utilisation en tant que cathode d'une unité de vaporisation à plasma.
Buekenhout Louis
Lippens Paul
Innovative Sputtering Technology N.v. (i.s.t.)
Kirby Eades Gale Baker
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1670349