B - Operations – Transporting – 01 – J
Patent
B - Operations, Transporting
01
J
B01J 19/08 (2006.01) H05H 1/46 (2006.01)
Patent
CA 2715270
An arcless, atmospheric-pressure plasma generating apparatus (10) capable of producing a large-area, temperature--controlled, stable discharge (20) at power densities between about 0.1 W/cm3 and about 200 W/cm3, while having an operating gas temperature of less than 50 C, for processing materials (28) outside of the discharge, is described. The apparatus produces ac-tive chemical species, including gaseous metastables and radicals which may be used for polymerization (either free radical-in-duced or through dehydrogenation-based polymerization), surface cleaning and modification, etching, adhesion promotion, and sterilization, as examples. The invention may include either a cooled rf- driven electrode (12) or a cooled ground electrode (22), or two cooled electrodes, wherein active components of the plasma may be directed out of the plasma and onto an external workpiece (28) without simultaneously exposing a material to the electrical influence or ionic components of the plasma.
L'invention porte sur un appareil de génération de plasma à pression atmosphérique, sans arc (10), capable de produire une décharge stable, à température contrôlée, de grande surface (20) à des densités de puissance entre environ 0,1 W/cm3 et environ 200 W/cm3, tout en ayant une température de gaz de fonctionnement de moins de 50 °C, pour traiter des matériaux (28) à l'extérieur de la décharge. L'appareil produit des espèces chimiques actives, comprenant des métastables et radicaux gazeux qui peuvent être utilisés pour une polymérisation (soit induite par radicaux libres, soit par polymérisation à base de déshydrogénation), un nettoyage de surface et une modification de surface, une gravure chimique, une favorisation de l'adhésion et une stérilisation, en tant qu'exemples. L'invention peut comprendre soit une électrode pilotée par rf refroidie (12), soit une électrode de masse refroidie (22), soit deux électrodes refroidies, des composants actifs du plasma pouvant être dirigés hors du plasma et sur une pièce à usiner externe (28), sans exposer simultanément un matériau à l'influence électrique ou aux composants ioniques du plasma.
Apjet Inc.
Hicks & Associates
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1503500