H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/4757 (2006.01) B23K 26/03 (2006.01) G03F 1/00 (2006.01)
Patent
CA 2338271
A system and method for photolithographic mask repair. The system comprises a structure for supporting a mask to be operated on, a laser emitting device for effecting mask repair, a light source adjacent the support structure for selected illumination of the mask, a laser processor for effecting sequential angular manipulation of a laser beam projecting from the laser emitting device, a computer device for controlling the sequential angular manipulation so as to capture a generally complete waveform of the beam, and a microscope for multi-aspect viewing of the mask during navigation of the beam about the mask. The computer device, simultaneously with manipulation of the beam, effecting fine motion control of the beam, controlled movement of the motorized aperture for effecting the sequential angular manipulation, controlled support structure movement, and image data processing.
Système et méthode de réparation de masques photolithographiques. Le système comprend une structure de support pour le masque à réparer, un émetteur laser pour la réparation du masque, une source de lumière adjacente à la structure de support pour éclairer le masque avec précision, un appareil de traitement au laser pour la modification séquentielle de l'angle du faisceau laser provenant de l'émetteur laser, un dispositif informatique de commande de la modification séquentielle de l'angle permettant de saisir une forme d'onde généralement complète associée au faisceau, et un microscope pour voir sous plusieurs angles le masque pendant que le faisceau s'y déplace. Pendant la modification de l'angle du faisceau, le dispositif informatique commande le mouvement du faisceau avec précision, il commande la modification de l'ouverture motorisée pour la modification séquentielle de l'angle, il commande le mouvement de la structure de support et il traite les données d'image.
Fu Qiang
O'connor John
Perley-Robertson Hill & Mcdougall Llp
Quantronix Corp.
LandOfFree
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