Laser processing apparatus

Details Laser processing apparatus Laser processing apparatus

H - Electricity

01

L

H01L 21/78 (2006.01)

Patent

CA 2564124

Disclosed is a laser processing apparatus for minimizing generation of sludge and enhancing the processing efficiency while processing an object. The laser processing apparatus includes a beam irradiator for emitting a laser beam from a laser light source, a beam scanner for operating the laser beam emitted from the beam scanner, to be irradiated on a predetermined interval of a processing position of the object repeatedly on the straight, and a condensing lens for regulating a focus of the laser beam emitted from the beam irradiator. The object is movable at least once along a processing direction during processing the object. According to the present invention, it is able to improve the processing efficiency and to work an object with a uniform morphology by using a mask filtering a laser beam irradiated at a rotation turning point of a beam scanning mirror, capable of continuously irradiating a laser beam by deforming the laser beam into an elliptical pattern.

L'invention concerne un appareil de traitement au laser destiné à réduire au minimum la formation de suspensions et à améliorer l'efficacité de traitement pendant le traitement d'un objet. L'appareil de traitement au laser comprend un émetteur de faisceaux destinés à émettre un faisceau laser à partir d'une source de lumière laser, un dispositif de balayage de faisceaux destiné à commander un faisceau laser émis à partir du dispositif de balayage de faisceaux, qui est éclairé sur un intervalle prédéterminé à partir d'une position de traitement de l'objet, de façon répétée et directe, et une lentille de condensation destinée à réguler un foyer du faisceau laser émis par l'émetteur de faisceaux. L'objet peut être déplacé au moins le long d'une direction de traitement pendant le traitement dudit objet. Selon la présente invention, il est possible d'améliorer l'efficacité de traitement et de travailler sur un objet possédant une morphologie uniforme grâce à l'utilisation d'un filtrage à masques d'un faisceau laser émis dans un point de rotation d'un miroir de balayage de faisceaux, qui est capable d'émettre en continu un faisceau laser par la déformation du faisceau laser selon un motif elliptique.

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