Laser pulse picking employing controlled aom loading

Details Laser pulse picking employing controlled aom loading Laser pulse picking employing controlled aom loading

H - Electricity

01

L

H01L 21/268 (2006.01) B23K 26/08 (2006.01) B23K 26/38 (2006.01) H01S 3/00 (2006.01)

Patent

CA 2530688

A laser (126) and an AOM (10) are pulsed at substantially regular and substantially similar constant high repetition rates to provide working laser outputs (40) with variable noimpingement intervals (50) without sacrificing laser pulse-to-pulse energy stability. When a working laser output (40) is demanded, an RF pulse (38) is applied to the AOM (10) in coincidence with the laser output pulse (24) to transmit the laser pulse to a target. When no working laser output (40) is demanded, an RF pulse (38) is applied to the AOM (10) in noncoincidence with the laser output (24), so that the laser pulse is blocked. Thus, the average thermal loading on the AOM (10) remains substantially constant regardless of how randomly the working laser outputs (40) are demanded. The AOM (10) can also be employed to control the energy of the working laser output (40) by controlling the power of the RF pulse (38) applied. When the RF power is changed, the duration (44) of the RF pulse (38) is modified to maintain the constant average RF power.

Un laser (126) et un modulateur acousto-optique (AOM) (10) sont pulsés à un taux de répétition élevé constant sensiblement régulier et sensiblement similaire pour produire des impulsions de travail (40) à intervalles variables (50) sans répercussions et sans sacrifier la stabilité de l'énergie d'une impulsion à l'autre. Lorsqu'on requiert de l'énergie (40) laser on applique une impulsion RF (38) à l'AOM en coïncidence avec une impulsion de sortie du laser (24) pour la diriger sur une cible. Lorsqu'on ne requiert pas d'énergie (40) laser on applique une impulsion RF (38) à l'AOM en anti-coïncidence avec une impulsion de sortie du laser (24), ce qui la bloque. Ainsi la charge thermique moyenne sur l'AOM (10) reste sensiblement constante quelque soit l'aléatoirité de la demande en impulsions de travail. On peut donc utiliser l'AOM (10) pour régler l'énergie de sortie (40) d'un laser de travail en agissant sur l'application de l'impulsion RF. Lorsqu'on modifie l'énergie RF la durée (44) on modifie également la durée (44) de l'impulsion RF de manière à maintenir constante puissance RF moyenne.

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