G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 5/28 (2006.01) C25F 3/12 (2006.01) H01L 21/306 (2006.01)
Patent
CA 2274564
The invention relates to a layer with an area made of a porous material extending from the surface of the layer to the inside of the latter, wherein the dimension of the porous layer area in the direction perpendicular to the surface of the layer exhibits different values. The invention also relates to a method for producing a layer with a porous area or a layer system, wherein said porous layer area is formed by etching and means are used to choose a physical dimension in correlation with the etching speed of the etching process in order to form at least one etching gradient.
L'invention concerne une couche présentant une zone formée d'un matériau poreux s'étendant de la surface de la couche vers l'intérieur de cette couche, les dimensions de la zone poreuse dans le sens perpendiculaire à la surface de la couche présentant des valeurs différentes. L'invention concerne un procédé de fabrication d'une couche à zone poreuse ou d'un système de couche, caractérisé en ce que ladite zone poreuse est formée par attaque chimique, et en ce qu'on utilise des moyens agissant de telle façon qu'une grandeur physique en corrélation avec la vitesse de décapage du processus d'attaque soit choisie pour la formation d'au moins un gradient d'attaque.
Arens-Fischer Rudiger
Berger Michael
Hilbrich Stefan
Kruger Michael
Lang Walter
Forschungszentrum Julich Gmbh
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1528395