B - Operations – Transporting – 32 – B
Patent
B - Operations, Transporting
32
B
B32B 18/00 (2006.01) B32B 5/18 (2006.01) B32B 27/28 (2006.01) H01L 23/498 (2006.01) H01L 23/538 (2006.01)
Patent
CA 2431993
In accordance with the present invention, compositions and methods are provided in which a layered low dielectric constant nanoporous material is produced that comprises a first layer justaxposing a substrate, a second nanoporous layer juxtaposing the first layer, and an additional layer juxtaposing the second layer. The layered dielectrics of the present invention are formed using nanoporous materials by (a) depositing a first layer on a substrate, (b) depositing a second layer that is nanoporous and that juxtaposes the first layer, (c) treating the second layered material to produce nanoporosity, and (d) depositing at least one additional layer that partially juxtaposes the second layer. A layer of wires or other electronic components can also be situated between the substrate layer and the first layer.
La présente invention concerne des compositions et des procédés dans lesquels on produit un premier matériau nanoporeux en couches à faible constante diélectrique qui comprend une première couche juxtaposée à un substrat, une deuxième couche nanoporeuse juxtaposée à la première couche et une couche additionnelle juxtaposée à la deuxième couche. Les diélectriques en couches selon la présente invention sont formés à l'aide de matériaux nanoporeux suivant un procédé qui consiste à (a) déposer une première couche sur un substrat, (b) déposer une deuxième couche qui est nanoporeuse et qui est juxtaposée à la première couche, (c) traiter la matière à deux couches pour la rendre nanoporeuse, et (d) déposer au moins une couche additionnelle qui est partiellement juxtaposée à la deuxième couche. Une couche de fils ou d'autres constituants électroniques peut également être placée entre la couche formant substrat et la première couche.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Honeywell International Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1634790