Line pressure measurement using differential pressure sensor

G - Physics – 01 – L

Patent

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G01L 9/00 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01)

Patent

CA 2609010

A pressure sensor assembly (56) for sensing a pressure of a process fluid includes a sensor body (220) having a cavity (132,134) formed therein to couple to a process fluid pressure. A deflectable diaphragm (100) in the cavity deflects in response to the first and second process fluid pressures . A first primary electrode (144) couples to a wall (126) of the cavity and forms a first primary capacitor (Mx) between the first primary electrode and the deflectable diaphragm. A first secondary electrode (146) couples to the wall of the cavity to form a first secondary capacitor (Rx) between the first secondary electrode and the deflectable diaphragm. A second primary electrode (148) and second secondary electrode (150) are preferably coupled to a wall (128) of the cavity opposite the first. Line pressure of the process fluid is determined based upon variation in the secondary capacitors relative to the primary capacitors .

L'invention concerne un ensemble capteur de pression (56) permettant de détecter une pression d'un fluide de traitement. Ledit ensemble comprend un corps de capteur (220) présentant une cavité (132,134) formée à l'intérieur destinée à être accouplée à une pression de fluide de traitement. Une membrane déformable (100) dans la cavité se déforme en réponse aux première et seconde pressions de fluide de traitement. Une première électrode primaire (144) est couplée à une paroi (126) de la cavité et forme un premier condensateur primaire (Mx) entre la première électrode primaire et la membrane déformable. Une première électrode secondaire (146) est couplée à la paroi de la cavité afin de former un premier condensateur secondaire (Rx) entre la première électrode secondaire et la membrane déformable. Une seconde électrode primaire (148) et une seconde électrode secondaire (150) sont de préférence couplées à une paroi (128) de la cavité opposée à la première. Une pression de canalisation du fluide de traitement est déterminée en fonction d'une variation au niveau des condensateurs secondaires relativement aux condensateurs primaires.

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