G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) G01N 21/47 (2006.01)
Patent
CA 2476174
A low-coherence inferometric device for light-optical scanning of an object (18) comprising a short-coherence interferometer (6) consisting of a short- coherence light source (7), a reference reflector (21) and a detector (25). The light (7) emitted by the light source (7) is divided into two light paths (11,12). A first part thereof is radiated onto the object as a measuring light (16) and a second part thereof is radiated onto the reference reflector (21) as a reference light (22). The measuring light (16) and the reference light (22). After reflection on the object (18) or reference reflector (21), the measuring light (16) and the reference light (22) are combined at a beam junction (10). In order to ensure rapid scanning, a variable wavelength selection device (30) is arranged in the light path of the detection light between the beam junction (10) and the detector (25), enabling the detection light (24) to be selected according to the wavelength thereof, whereby selectively preferred light reaches the detector (25) at wavelengths corresponding to an adjustable sequence of wave numbers k for said scanning.
L'invention concerne un appareil interférométrique à basse cohérence destiné au balayage optique d'un objet (18) par un interféromètre à basse cohérence (6). Cet appareil comprend une source lumineuse à basse cohérence (7), un réflecteur de référence (21) et un détecteur (25). La lumière sortant de la source lumineuse (7) est divisée en deux faisceaux (11,12), un premier faisceau étant dirigé sur l'objet comme faisceau lumineux de mesure (16) et un deuxième faisceau étant dirigé sur le réflecteur de référence (21) comme faisceau lumineux de référence (22). Après réflexion sur l'objet (18) et le réflecteur de référence (21), le faisceau lumineux de mesure (16) et le faisceau lumineux de référence (22) sont réunis au niveau d'un point de jonction (10). Pour un balayage rapide, on place un dispositif sélecteur de longueur d'onde (30) variable dans le trajet du faisceau lumineux de détection, entre le point de jonction (10) et le détecteur (25). Ce sélecteur de longueur d'onde permet de sélectionner le faisceau lumineux de détection (24) en fonction de sa longueur d'onde de telle manière que la lumière arrivant de façon sélective au détecteur (25) ait, de préférence, des longueurs d'ondes correspondant à une séquence de nombres d'ondes k réglés pour le balayage.
Knuttel Alexander
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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