Low-coherence interferometric device for depth scanning of...

G - Physics – 01 – B

Patent

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G01B 11/22 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01) A61B 1/06 (2006.01) A61B 5/00 (2006.01) A61B 6/00 (2006.01)

Patent

CA 2412737

Low-coherence interferometric device for light optical depth scanning of an object (13) positioned in front of a measurement aperture (12) of the device by detecting the position of light-reflecting sites which are located at different measurement depths within the object (13) along a scanning path (19) running into the object in a scanning direction (25) using a low-coherence inter-ferometer which comprises a low-coherence light source (7), a beam splitter (8), a reference reflector (9) and a detector (10). The interferometer is a free-space in-line interferometer (6) having a beam splitter (8) running transversal to the direction of scanning (25). The light transmitter (7), the detector (10) and the reference mirror (9) are arranged on the side of the beam splitter facing away from the measurement aperture. A movable scanning lens (11) is arranged between the beam splitter (8) and the measurement aperture (12). The movable scanning lens (11) and the beam splitter (8) are movable for depth scanning in the same direction and in synchronization.

La présente invention concerne un dispositif interférométrique à courte cohérence permettant de déterminer par voie optique la profondeur d'un objet (13) disposé à l'avant d'une ouverture de mesure (12) du dispositif. Cette opération est réalisée par détection de la position de zones émettrices de lumière qui sont localisées à différentes profondeurs de mesure à l'intérieur de l'objet (13), le long d'une trajectoire de détection (19) s'étendant à l'intérieur de l'objet dans une direction de détection (25). A cet effet est utilisé un interféromètre à courte cohérence qui comprend une source de lumière à courte cohérence (7), un séparateur de rayonnement (8), un réflecteur de référence (9) et un détecteur (10). L'interféromètre est un interféromètre à rayonnement libre en ligne (6) comprenant un séparateur de rayonnement (8) s'étendant transversalement à la direction de détection (25). Selon l'invention, la source de lumière (7), le détecteur (10) et le réflecteur de référence (9) sont disposés sur le côté du séparateur de rayonnement, opposé à l'ouverture de mesure. Entre le séparateur de rayonnement (8) et l'ouverture de mesure (12) se trouve un objectif de détection mobile (11). L'objectif de détection mobile (11) et le séparateur de rayonnement (8) peuvent se déplacer, pour la mesure de profondeur, de manière synchrone et parallèle.

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