Low loss rf mems-based phase shifter

Details Low loss rf mems-based phase shifter Low loss rf mems-based phase shifter

H - Electricity

01

Q

H01Q 3/26 (2006.01) H01P 1/18 (2006.01)

Patent

CA 2540524

A hybrid circuit phase shifter assembly of RF MEMS switch modules and passive phase delay shifter circuits uses a low loss, preferably flip-chip, interconnection technology. The hybrid circuit assembly approach separates the fabrication of the MEMS switch modules from the fabrication of the passive phase delay circuits thereby avoiding process incompatibilities and low yields and providing substantial production cost savings. In another aspect of the invention, the integration on a common substrate of a MEMS-based hybrid circuit phase shifter assembly behind each of a plurality of radiating elements provides a compact, low cost electronic scanning antenna array.

La présente invention se rapporte à un ensemble déphaseur à circuit hybride composé de modules commutateurs MEMS RF et de circuits déphaseurs à retard de phase passifs. L'ensemble selon l'invention fait appel à une technologie d'interconnexion à faible perte, de préférence par bossage. La technique associée à l'ensemble circuit hybride consiste à séparer la fabrication des modules commutateurs MEMS de la fabrication des circuits à retard de phase passifs, ce qui permet d'éviter les incompatibilités et les bas rendements de processus, et représente une économie considérable en matière de coûts de production. Dans un autre aspect de l'invention, l'intégration, sur un substrat commun, d'un ensemble déphaseur à circuit hybride MEMS derrière chaque élément d'une pluralité d'éléments rayonnants permet d'obtenir un réseau d'antennes à balayage électronique bon marché et compact.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1701903