Low temperature formed thin film actuated mirror array

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 26/08 (2006.01) H04N 5/74 (2006.01) H04N 9/31 (2006.01)

Patent

CA 2208089

An array (200) of M x N thin film actuated mirrors (201) includes an active matrix (210) having a substrate, an array of M x N connecting terminals (214) and an array of M x N transistors, and an array of M x N actuating structures (250). Each of the actuating structures (250) is of a bimorph structure and includes an actuating portion (180) and a light reflecting portion (190), the actuating portion (180) including a front portion of a second thin film electrode (245), a lower electrodisplacive member (285), an intermediate electrode (295), an upper electrodisplacive member (275), and a front portion of a first thin film electrode (235). The front portion of the second thin film electrode (245) is electrically connected to each of the connecting terminals (214) and each of the transistors, and the remaining portion of the first thin film electrode (235) is placed on top of the remaining portion of the second thin film electrode (245) to form the light reflecting portion (190) allowing the first and the second thin film electrodes to function as a signal electrode. The intermediate electrode (295) placed between the upper and the lower electrodisplacive members (275, 285) functions as a common bias electrode.

Cette invention concerne un réseau (200) de miroirs commandés à couche mince M x N (201), comprenant une matrice active (210) sur un support, un réseau de bornes de connexion M x N (214) et un réseau de transistors M x N, ainsi qu'un réseau de structures de commande M x N (250). Chacune des structures de commande (250) est une structure dimorphe qui comprend une partie commande (180) et une partie réfléchissant la lumière (190). La partie commande (180) se compose de la partie antérieure d'une seconde électrode à couche mince (245), d'un élément électro-displacif inférieur (285), d'une électrode médiane (295), d'un élément électro-displacif supérieur (275) et de la partie antérieure d'une première électrode à couche mince (235). La partie antérieure de la seconde électrode à couche mince (245) est connectée à chacune des bornes de connexion (214) et à chacun des transistors. La partie restante de la première électrode à couche fine (235) est placée au-dessus de la partie restante de la seconde électrode à couche mince (245) de manière à former la partie réfléchissant la lumière (190), ce qui permet aux dites première et seconde électrodes à couche mince de fonctionner comme une électrode de signal. L'électrode médiane (295), disposée entre les éléments électro-displacifs supérieur et inférieur (275, 285), fonctionne comme une électrode de polarisation classique.

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