H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/316 (2006.01) H01L 21/77 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/314 (2006.01)
Patent
CA 2215052
A liquid precursor containing a metal is applied to a first electrode, RTP backed at a temperature of 700 ~C, and annealed at the same temperature from 3 to 5 hours to form a layered superlattice material. A second electrode is formed to form a capacitor, and a second anneal is performed at a temperature of 700 ~C. If the material is strontium bismuth tantalate, the precursor contains u mole-equivalents of strontium, v mole-equivalents of bismuth, and w mole-equivalents of tantalum, where 0.8 <= u <= 1.0, 2.0 <= v <= 2.3, and 1.9 <= w <= 2.1.
Un précurseur liquide contenant un métal est appliqué à une première électrode, cuit dans une unité de traitement thermique rapide à une température de 700 ·C et recuit à la même température pendant 3 à 5 heures, pour former un matériau à super-réseau en couches. Une seconde électrode est constituée de manière à former un condensateur, et un second recuit est effectué à une température de 700 ·C. Si le matériau est du strontium bismuth tantalate, le précurseur contient u équivalents-mole de strontium, v équivalents-mole de bismuth et w-équivalents-mole de tantalum, où 0,8 <= u <= 1,0, 2,0 <= v <= 2,3, et 1,9 <= w <= 2,1.
Ito Takeshi
Paz de Araujo Carlos A.
Scott Michael C.
Watanabe Hitoshi
Olympus Optical Co. Ltd.
Smart & Biggar
Symetrix Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1553166