C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/34 (2006.01) B22F 1/00 (2006.01) C22C 1/04 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) G11B 5/85 (2006.01) G11B 7/24 (2006.01) G11B 7/243 (2006.01) G11B 7/26 (2006.01) G11B 11/105 (2006.01)
Patent
CA 2174433
A magneto-optical sputter target having a composition comprising at least one rare earth element and at least one transition metal, with a structure which includes a transition metal constituent and a finely mixed alloy constituent of a rare earth phase and a rare earth/transition metal intermetallic compound. The structure of the present target contains a minimum of the intermetallic compound. A method of producing the present sputter target includes mixing particles of the transition metal constituent (preferably only alloyed transition metals) with particles of the finely mixed alloy to produce a powder blend and subjecting the powder blend to a pressing operation in an oxidizing inhibiting environment for a time and at a temperature and pressure which minimizes the rare earth/transition metal intermetallic compound content of the target.
Est décrite une cible de pulvérisation cathodique en alliage magnéto-optique présentant une composition renfermant au moins un élément des terres rares et au moins un métal de transition, ainsi qu'une structure comprenant un constituant métal de transition et un constituant allié finement mélangé d'une phase des terres rares et d'un composé intermétallique terres rares/métal de transition. La structure de ladite cible contient une quantité minimale du composé intermétallique. Un procédé de production de cette cible consiste à mélanger des particules du constituant métal de transition (de préférence uniquement des métaux de transition alliés) avec des particules de l'alliage finement mélangé pour produire un mélange pulvérulent, et à soumettre ce dernier à une opération de compression dans un milieu anti-oxydation pendant une durée ainsi qu'à une température et à une pression réduisant au minimum la teneur de la cible en composé intermétallique terres rares/métal de transition.
Macrae & Co.
Materials Research Corporation
Praxair St Technology Inc
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1983012