G - Physics – 11 – B
Patent
G - Physics
11
B
G11B 5/37 (2006.01) B32B 15/00 (2006.01) C25D 3/56 (2006.01) G01R 33/09 (2006.01) G11B 5/39 (2006.01) H01F 10/16 (2006.01) H01F 10/26 (2006.01) H01L 43/08 (2006.01) H01L 43/12 (2006.01)
Patent
CA 2345390
A magnetoresistive sensor (30) and a method of producing the magnetoresistive sensor (30) using electrochemical deposition are disclosed. An insulated substrate (11) is coated with a conductive coating (12) to ready the insulated substrate for electrochemical deposition, electroplating. The conductive coating (112) is latter patterned to prevent the short-circuiting of metallic regions. The conductive coating is electroplated with a metallic layer (131) and a magnetic alloy. The layers are etched to form four separate regions that are interconnected in a wheatstone bridge (473) configuration to form a sensor that can detect changes in an applied magnetic field (100). In some embodiments, the magnetic layers are separated by non-magnetic layers (114) to increase the sensitivity of the sensor. In other embodiments, pole piece elements are added to focus the magnetic field on two of the four regions.
La présente invention concerne un capteur magnétorésistant (30) et un procédé de fabrication de ce capteur (30) au moyen de dépôt électrochimique. Un substrat isolant (11) est revêtu d'une couche conductrice (12) afin de préparer le substrat isolant à un dépôt électrochimique, par traitement électrolytique. La couche conductrice (112) est ensuite structurée afin d'éviter la mise en court-circuit de parties métalliques. La couche conductrice est revêtue, par électrolyse, d'une couche métallique (131) et d'un alliage magnétique. Les couches sont attaquées pour obtenir quatre régions séparées, interconnectées dans une configuration de pont de Wheatstone (473), afin de former un capteur capable de détecter des changements dans un champ magnétique appliqué (100). Dans certaines réalisations, les couches magnétiques sont séparées par des couches non magnétiques (114) afin d'augmenter la sensibilité du capteur. Dans d'autres réalisations, des éléments de pièce polaire sont ajoutés de manière à focaliser la champ magnétique sur deux des quatre régions.
Beane Glenn L.
Hua Zonglu
Lashmore David S.
Materials Innovation Inc.
Ogilvy Renault Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1647573